佰力博推出PPS90系列高真空分子泵机组,为高真空抽气系统提供了解决方案。该泵组采用进口分子泵作为高真空泵,前级搭载双级旋片油泵或浮动式涡旋干泵。PPS-90系列分子泵机组配置真空测量规管数据采集卡,选配真空规管套件后只需将数据线连接在采集卡上,便可轻易读取真空度数值。
读取真空度值
控制面板可直接读取真空度值,启停一键控制,使用方便快捷。
集成一体化
外置可控真空计,集成一体化设计,配套TAVS排气阀实现自动放气,结构紧凑,体积小,便于放置和搬运。
前级搭载泵
前级搭载双级旋片油泵或浮动式涡旋干泵。
高真空泵
采用进口分子泵作为高真空泵。
真空规管
PPS-90分子泵组选配真空规管测量套件,可以直接在分子泵机组面板读取真空度值。
PPS-90分子泵机组
为高真空抽气系统提供解决方案
PPS-90带测量套件型泵组
配置真空测量规管数据采集卡,带真空规管套件,可读取真空度数值。
PPS-90分流粗抽型泵组
分流粗抽型泵组,为频繁排气和抽气的高真空系统设计。
PPS-90标准型泵组
配置真空测量规管数据采集卡,不带真空规管套件,用户可自行配置。
■ 泵组接口可选KF40/ISO63/CF63
分流粗抽型泵组,是特意为频繁排气和抽气的高真空系统设计,系统对大气排空后,可以实现不用停分子泵,就能再次快速对已排空的系统进行抽气。主要流程:开启旁通阀对系统进行粗抽再切换开启分子泵入口阀进行高真空抽气,目前配合真空封管系统和低温真空探针台使用,可以大大提高实验效率。
频繁排气和抽气的
高真空抽气系统提供解决方案
PPS-90系列分子泵机组适用于材料真空应用,可用于实现Partulab自主研发的MRVS系列真空封管机+系统的真空获得和CPS系列低温真空探针台的真空获得,适用于真空溅射镀膜,适用于真空烧结等领域。用于大型真空腔体抽气时,可以设置时间延迟/压力延迟启动分子泵机组。
材料真空应用
真空溅射镀膜
真空烧结
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高真空抽气系统应用解决方案
■ 适用于真空内所有应用的紧凑型系列泵设备;
■ 启停一键控制,百分比读数,使用方便快捷;
■ 内置可控真空计,集成一体化设计;
■ 配套TAVS排气阀实现自动放气;
■ 结构紧凑,体积小,便于放置和搬运;
■ 性能高,可实现长期可靠运行。
单工位真空封管机抽真空达到10 Pa需要多长时间?
用于石英管真空封装时,选择MRVS-1002单工位真空封管机和PPS-90带测量套件型分子泵机组,要达到上述真空度需要20分钟左右。
低温真空探针台和分子泵机组
PPS-90系列分子泵机组可用于Partulab自主研发的CPS系列低温真空探针台真空获得的选配设备,可满足低温真空探针台高真空需求。