CSC系列半导体材料电学测量系统

           CSC系列半导体材料电学测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和Keithley 4200-CSC半导体参数分析集成设计而成，是一款常温或高低温条件下测量有机半导体器件、纳米器件及薄膜材料电学性能测量的综合性测量系统。该系统可以实现-160℃-400℃、空气和真空条件下的半导体器件和材料电压-电流（I-V）测量、超快脉冲电压-电流（I-V）测量、电容-电压（CV）测量、DLCP测量、电阻（RT）和电阻率（ρT）测量、Hall电压测量等，广泛就用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是目前科研教学表征和测量半导体器件和薄膜材料的最佳综合测量系统。

测量原理

CSC系列半导体材料电学测量系统主要由Partulab CPS-7000低温真空探针台、Keithley 4200-CSC半导体参数分析仪和LVRMeaskit直流低温电阻测量套件组成。系统配备Lakeshore336温控仪可以与Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半导体参数分析仪无缝连接，直接可以在半导体参数分析仪实现器件和材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。

 样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

产品配置

Partulab CPS系列低温真空探针台

配置：

CPS-7000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

--Lakeshore 336温控仪及传感器

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

-Lakeshore 336温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

Keith 4200-CSC半导体参数分析仪（选件）

配置：

4210-SMU I-V 源测量单元（SMU）

--实现高达200V/1 A

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

-SRS CTC-100温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCS、同轴环形光可调电源

Partulab LVRMeaskit低电压和低电阻测量套件

配置：

FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough

--4个或6个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆

CSH-LR 直流低阻同轴样品固定座

--模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好

DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

--阻抗50Ω的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25μm

PA-LVR 低电压和低电阻探针臂

--直流低电压和低电阻测量探针臂，带热沉

PLWS 保修服务及技术支持服务

--提供1年保修，终身技术支持服务

技术规格

    探针臂个数：4个或6个                                                                                              电压测量：1μV~200V，分辨率1μV

    测量温度：-160℃~400℃/10k~675k                                                                        电流测量：100fA~1A，最小分辨率100fA

    降温时间：~45min to 110k AC                                                                                 阻抗测量：1kHz至10MHz

    真空度：~10⁶mbar                                                                                                   测量参数：C电容

    最大样品尺寸：≤51mm                                                                                             C-V测量的电压：内置±30V DC偏置装置

    可视系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源                                                  碳化钨探针夹具阻抗：50Ω

    XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm