FDMS系列薄膜介电测量系统

        FDMS系列薄膜介电测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和Wayne Kerr阻抗分析仪集成设计而成，是一款常温或高低温条件下测量薄膜介电质材料的测量系统。该系统可以实现-160℃~400℃、空气和真空条件下薄膜的介电温谱、介电频谱、阻抗谱、Cole-Cole图和Nyquist图的测量功能，广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所领域，是电介质薄膜材料的最佳测量系统。

        FDMS系列薄膜介电测量系统由Partulab CPS-7000低温真空探针台、Wayne Kerr阻抗分析仪和DEMeaskit介电测量套件组成，该系统配备SRS公司的CTC-100低温温控仪与Wayne Kerr阻抗分析仪和MEMS多功能材料电学测量软件无缝连接，实现薄膜电介质材料的变温电学测量 ，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。

        样品温度准确性和温度性是整个低温系统的关键，系统配置三个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过检测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。      

测量原理

产品配置

Partulab CPS系列低温真空探针台

配置：

CPS-7000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

--SRS CTC-100温控仪及传感器

--液氮传输系统

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

-SRS CTC-100温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCS、同轴环形光可调电源

Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）

配置：

6500B 精密阻抗分析仪

--6505测量频率20Hz至5MHz（四选一）

--6510测量频率20Hz至10MHz（四选一）

--6520测量频率20Hz至20MHz（四选一）

--6530测量频率20Hz至30MHz（四选一）

--测量参数：Z、∅、L、C、R、Q、D、Y、G、B、X

--精度0.05%

--可选±40V直流

Partulab DielectricMeaskit测量套件

配置：

FT-BNC同轴真空BNC Feedthrough

--4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆

CSH-DE 介电同轴样品固定座

--模仿BNC的结构，样品表明电绝缘，屏蔽良好

DCP50R-W 50Ω 阻抗碳化钨探针夹具

--阻抗50Ω的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25μm

PA-DE 介电测量探针臂

--介电用的测量探针臂，带热沉

MEMS多功能材料电学测量分析软件

--附带全套介电功能测量分析软件    

AC阻抗测量：20Hz至30Hz

测量参数：Z、∅、L、C、R、Q、D、Y、G、B、X

技术规格

探针臂个数：4个或6个   

测量温度：：-160℃~400℃/10K~675K                                          

降温时间：~45min to 110k                   

真空度：~10^-6mbar                                                                       

最大样品尺寸：小于等于51mm                

可视化系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源         

XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm

测量精度：0.05%

测量参数：C电容

C-V测量的电压：内置±40V DC偏置装置

碳化钨探针夹具阻抗：50Ω