FTSC系列薄膜铁电测量系统

    FTSC系列薄膜热释电测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和Keithley6517B高阻表集成化设计而成，是一款常温或高低温重要条件下评估薄膜TSC的电学测量系统。该系统可以实现-160℃~400℃、空气和真空条件下的测量薄膜的TDSC热激励退极化电流、TPSC热激励极化电流。薄膜绝缘电阻率等测量，广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是铁电薄膜材料的最佳测量系统。

测量原理

  样品温度准确性和温度性是整个低温系统的关键，系统配置三个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过检测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。      

产品配置

Partulab CPS系列低温真空探针台

配置：

CPS-7000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

--SRS CTC-100温控仪及传感器

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

-SRS CTC-100温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCS、同轴环形光可调电源

Partulab TSCMeaskit 测量套件

配置：

FT-Triax 三同轴真空Feedthrough

--1个Triax Feedthrough、微型低温三同轴接地保护电缆

--1个SHV Feedthrough、微型低温高压接地保护电缆

CSH-HR 高轴三同轴品固定座

--模仿Triax三同轴结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好

DCP50R-W-25-Triax 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

--阻抗50Ω的碳化钨针，三同轴接头，针尖半径25μm

PA-TSC热释电测量探针臂

--热释电测量探针臂，带热忱

MEMS多功能材料电学测量分析软件

--附带全套铁电功能测量分析软件

KEITHLEY 6517B高阻表/静电计

配置：

6517B高阻表主机

技术规格

电阻测量高达：100~10¹⁷Ω

探针臂个数：4个或6个 

降温时间：~45min to 110k  

真空度：~10^-6mbar     

最大样品尺寸：≤等于51mm 

可视化系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源 

XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm

电流测量：10aA to 20mA

电压测量范围：1μV to 200V

碳化钨探针夹具阻抗：50Ω

内置电压源：±1000V