IPEMS系列逆压电测量系统

    IPEMS系列逆压电测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和SIOS逆压电功能测量仪集成化设计而成，是一款常温或高低温条件下测量薄膜或薄片逆压电材料电学综合性测量系统。该系统可以实现-160℃~400℃、空气和真空条件下的压电薄膜或薄片的D33、d31随温度变化的关系，广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是逆压电薄膜材料的最佳测量系统。

    IPEMS系列逆压电测量系统主要由Partulab CPS-7000低温真空探针台、SIOS逆压电功能测量仪、Trek电压源和IPEMeaskit逆压电测量套件组成，该系统配备SRS公司的CTC-100低温温控仪和MEsoftware软件无缝连接，实现薄膜电介质材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。 

  样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

测量原理

产品配置

Partulab CPS系列低温真空探针台

配置：

CPS-7000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

--CRS CTC- 100温控仪及传感器

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

--CRS CTC- 100温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

SIOS逆压电测量仪+TREK电压源（选件）

配置：

双频激光干涉仪

--波长632.8mm

--表明粗糙度：任意
--表明反射率：5x10-4
--工作距离：240mm
--测量范围：±20mm

TREK电压源

--输出电压：＋/-1kV or +/-10kV
--输出电流：＋/-200uA or +/-2mA
--频率带宽：1.2KHz

Partulab DMeaskit测量套件

配置：

FT-BNC真空BNC Feedthrough

--2个BNC Feedthroug以及微型低温同轴接地保护电缆
--1个FC Feedthrough 以及微型光纤电缆

CSH-DE 压电同轴样品固定座

--模仿BNC的结构，样品表明电绝缘，屏蔽良好

DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

--压电用的测量探针臂，带热沉

MEsoftware 压电功能测量分析软件

--全套压电功能测量分析软件

测量范围：±20mm

输出电压：+/-1kV or +/-10kV

频率带宽：1.2kHz

D33测量范围：0~1000pc/N

碳化钨探针夹具阻抗：50Ω

技术规格

探针臂个数：4个或6个

测量温度：-160℃-400℃/10k-675K      

降温时间：-45min to 110K             

真空度：-10⁶mbar

最大样品尺寸：≤51mm  

可视系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源  

XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm

波长：632.8mm