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CPS-7000低温真空探针台

CPS-7000系列液氮/液氦低温真空探针台是Parutulab佰力博公司匠心打造的一款低温电学测量综合性平台，是一种利用液氮/液氦快速制并为半导体晶圆片、器件、材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子功能材料、超导材料、导电材料）等提供一个真空和低温测量环境下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对半导体材料进行电学测量（IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光电效应等），广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是低温薄膜材料电学测量杀手利器。

  配置


  --液氮/液氦低温探针台    

  --4轴或6轴XYZ位移平台    

  --VSZ70可视化视觉系统    

  --PPS-90真空辅助系统及真空阀门、测量控制    

  --LNP95液氮传输系统

  --可选SRS温控仪/Lakeshore温控仪及传感器    

  --可选不同电学测量功能套件

测量原理

样品温度准确性和温度性是整个低温系统的关键，系统配置三个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过检测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

功能特点


 低温真空探针台

  ■  低温真空探针台由低温探针台、温控系统、视觉系统、低温制冷

      控制系统、真空辅助系统组成；

  ■ 低温探针台，可实现超低温、高真空测量环境，内置探针夹具，可

     通过观察窗观察样品情况；

  ■ 温控系统采用LakeShore温控仪，提供高精度、高分辨率、高稳定

     性的温度测量和控制；

  ■ 气动隔膜台，采用空气弹簧为隔离材料，并安装三个水平自动调节阀，

     实现隔离振动干扰实验。






   最多配置6个探针臂

      ■  视觉系统，采用显微成像装置，探针针尖位置清晰可见，以便准确无误
          的进行样品测试；

      ■  每个探针臂的探针可以进行三维方向上的定位。






     三维位移台

     ■  搭配压缩波纹管，实现真空环境下三维调整；

     ■  连接电极安装座，可适配不同接口的真空feedthroughs。





         液氮液氦制冷平台

         ■  通过消耗液氮/液氦实现低温制冷；

         ■  选配低温液氮传输系统，可实现液氮液氦自动补给。





     真空辅助系统

     ■  选配带测量套件的高真空分子泵机组，可以在分子泵机组面板

          读取真空度值。


技术规格


温度范围：80K-475K（液氮制冷），4.2K-475K（液氦制冷）；


选配低温选件后，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20K-675K；


控温稳定性：±50mK；制冷剂消耗：＜1.5Lhr@LHe ＜0.5L/hr@LN2；


降温时间：液氦~30min to10K，~60min to 5K；液氮~45min to 110K，~60min to 80K；


最大测试样品尺寸：直径51mm；


XYZ位移平台行程与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；


频率范围：测量DC到67GHz；真空环境：~10-5-10-6mabr；


顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；


4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三同轴接头及配套电缆