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低温真空探针台

Partulab佰力博自主研发的CPS系列低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。


佰力博低温真空探针台系列产品，按制冷条件可以分为以下两款产品：

产品中心​
CPS-7000低温真空探针台​

Partulab CPS-7000 LN2/LHe开循环低温真空探针台利用液氦/液氮快速制冷；系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

 ■ 制冷方法：液氦制冷

 ■ 温度范围：液氮80K~475K；液氦4.2K~475K

 ■ 液氮降温：45min to 110K；60min to 80K

 ■ 液氦降温：30min to 10K；60min to 5K


Partulab CPS-8000闭循环低温真空探针台采用G-M制冷机快速制冷，G-M制冷机提供最低温度为4K、10K和80K等不同温度需求的探针台。


 ■ 制冷方法：GM制冷机

 ■ 温度范围：4.5K~325K（4K GM制冷机）

 ■ 温度范围：10K~325K（10K GM制冷机）

 ■ 降温时间：~3~4 hours

CPS-8000低温真空探针台