佰力博首页 >> 产品 >> 铁电测量 >> 低温真空探针台 >> CPS-8000低温真空探针台


  --制冷机制冷低温探针台主机  

  --4轴或6轴XYZ位移平台    

  --VSZ70可视化视觉系统  

      7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源  

  --PPS-90真空辅助系统及真空阀门、测量控制    

  --可选GM制冷机80K/10K/4K三种机型可选

  --可选SRS CTC-100温控仪/lakeshore 336温控仪及传感器  

  --可选不同电学测量功能套件

    （含Feedthrough、电缆、功能样品固定座、热沉等 ）


  配置

CPS-8000低温真空探针台

Partulab CPS-8000闭循环低温真空探针台是一款采用可靠的GM制冷技术快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件进行非破坏性的电学表征和测量平台。GM制冷机提供最低温度为4K、10K和80K等不同温度需求的探针台，该闭循环低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、铁电子学、物理学和材料学等领域。

样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的探温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

测量原理





     真空辅助系统

     ■  选配带测量套件的高真空分子泵机组，可以在分子泵机组面板

          读取真空度值。






         制冷机制冷

         ■  采用G-M制冷机快速制冷，G-M制冷机提供最低温度

                  为4K、10K和80K等不同温度需求的探针台。






     三维位移台

     ■  搭配压缩波纹管，实现真空环境下三维调整；

     ■  连接电极安装座，可适配不同接口的真空feedthroughs。






   最多配置6个探针臂

      ■  视觉系统，采用显微成像装置，探针针尖位置清晰可见，以便准确无误
          的进行样品测试；

      ■  每个探针臂的探针可以进行三维方向上的定位。

功能特点


 低温真空探针台

  ■  低温真空探针台由低温探针台、温控系统、视觉系统、低温制冷

      控制系统、真空辅助系统组成；

  ■ 低温探针台，可实现超低温、高真空测量环境，内置探针夹具，可

     通过观察窗观察样品情况；

  ■ 温控系统采用LakeShore温控仪，提供高精度、高分辨率、高稳定

     性的温度测量和控制；

  ■ 气动隔膜台，采用空气弹簧为隔离材料，并安装三个水平自动调节阀，

     实现隔离振动干扰实验。

真空环境：~10-5-10-6mabr；


XYZ位移平台行程与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；


频率范围：测量DC到67GHz；


顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；


4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三同轴接头及配套电缆


最大测试样品尺寸：直径51mm；



降温时间：~3-4 hours；


高温选件温度范围：50K到500K；控温稳定性：±50mK ;


温度范围：10K-325K（10K GM制冷机），4.5K-325K（4K GM制冷机）；

技术规格